电子级水水质标准（GB/T 11446.1-2013）
GB/T 11446.1-2013《电子级水》规定了电子级水的级别、技术指标要求、试验方法和检验规则，适用于电子和半导体工业用高纯清洗用水。电子级水分为四个级别：Ⅰ 级、Ⅱ 级、Ⅲ 级、Ⅳ 级。以下是各级别的技术指标要求：
项目
技术指标
EW-Ⅰ
EW-Ⅱ
EW-Ⅲ
EW-Ⅳ
电阻率（25℃）/MΩ·cm
≥18
≥15
≥12
≥0.5
（5%时间不低于17）
（5%时间不低于13）
全硅/（μg/L）
≤2
≤10
≤50
≤1000
微粒数/（个/L）
0.05μm~0.1μm
500
-
-
-
0.1μm~0.2μm
300
-
-
-
0.2μm~0.3μm
50
-
-
-
0.3μm~0.5μm
20
-
-
-
＞0.5μm
4
-
-
-
细菌个数/（个/mL）
≤0.01
≤0.1
≤10
≤100
铜/（μg/L）
≤0.2
≤1
≤2
≤500
锌/（μg/L）
≤0.2
≤1
≤5
≤500
镍/（μg/L）
≤0.1
≤1
≤2
≤500
钠/（μg/L）
≤0.5
≤2
≤5
≤1000
钾/（μg/L）
≤0.5
≤2
≤5
≤500
铁/（μg/L）
≤0.1
-
-
-
铅/（μg/L）
≤0.1
-
-
-
氟/（μg/L）
≤1
-
-
-
氯/（μg/L）
≤1
≤1
≤10
≤1000
亚硝酸根/（μg/L）
≤1
-
-
-
溴/（μg/L）
≤1
-
-
-
硝酸根/（μg/L）
≤1
≤1
≤5
≤500
磷酸根/（μg/L）
≤1
≤1
≤5
≤500
硫酸根/（μg/L）
≤1
≤1
≤5
≤500
总有机碳/（μg/L）
≤20
≤100
≤200
≤1000